特許
J-GLOBAL ID：200903068143460575
真空ポンプ装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-084664
公開番号（公開出願番号）：特開平8-254200
出願日： 1995年03月15日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：
【要約】【目的】 エゼクタの吸引効率と循環ポンプのポンプ効率を高く維持することのできる真空ポンプ装置を得ることである。【構成】 タンク1を上下2層のタンク4,5で形成する。上層タンク4にエゼクタ2を取り付ける。下層タンク5内にディフュ-ザ6の下端部7を接続する。上下のタンク4,5を接続する接続管8を取り付ける。上層タンク4の下部開口11と循環ポンプ3を接続する。
請求項（抜粋）：
少なくともエゼクタの一部またはディフュ-ザの一部をタンク内に配置して、該タンクとエゼクタを循環ポンプを介して接続したものにおいて、タンクを少なくとも上下の2層に形成して、エゼクタを鉛直方向の上から下方向に配置し、且つ、該タンクの下層にエゼクタのディフュ-ザを連通して、上下2層のタンクを接続する接続管を取り付けると共に、上層のタンクと循環ポンプを接続したことを特徴とする真空ポンプ装置。
引用特許：
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