特許

J-GLOBAL ID：200903068145195950

洗浄装置

発明者： 白井 貢 ,  佐々木 秀昭
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-179186
公開番号（公開出願番号）：特開平5-023649
出願日： 1991年07月19日
公開日（公表日）： 1993年02月02日
要約：

【要約】【目的】 可燃性特性を持つ洗浄液で洗浄する場合においても、発火および着火のポテンシャルを小さくして爆発の防止が可能とされる洗浄装置を提供する。【構成】 可燃性有機溶剤の洗浄液を用いる洗浄装置であって、プリント基板1を洗浄するためのスプレー洗浄槽2と、プリント基板1をスプレー洗浄槽2に搬入するための搬入液体シール槽3と、プリント基板1をスプレー洗浄槽2から搬出するための搬出液体シール槽4とから構成され、プリント基板1の洗浄が、シール液16の噴流により大気と遮断され、かつ酸素濃度が所定値以下になるように不活性ガス9が導入されたスプレー洗浄槽2で行われる。そして、不活性ガス9の導入量は、酸素濃度計12、洗浄液5のガス濃度計13および温度計14によって制御されている。

請求項（抜粋）：

被洗浄物を洗浄するための洗浄室と、前記被洗浄物を該洗浄室に搬入または搬出するための搬入室および搬出室とを備えた洗浄装置であって、前記搬入室の搬入口および前記搬出室の搬出口の上部および下部のうち少なくとも一方に液体吐出口を設け、該液体吐出口よりシール液を吐出させると共に、該液体吐出口により囲まれた前記洗浄室の内部に不活性ガスを導入し、前記被洗浄物の洗浄を、前記シール液および不活性ガスによりシールされた前記洗浄室で行うことを特徴とする洗浄装置。

IPC (2件)：

B08B 3/08 ,  H05K 3/26

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭59-184591
  
• 特公昭40-009724
  
• 特開平3-106485
  
• 特公昭63-048598