特許
J-GLOBAL ID：200903068152023714
回転塗布装置および回転塗布方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-076653
公開番号（公開出願番号）：特開平9-270376
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：
【要約】【課題】 カップ内に飛沫塗布液が付着することを防止できる回転塗布装置および回転塗布方法の提供。【解決手段】 回転塗布装置(コーター1)において、塗布液の飛散を防止するカップ5内に塗布液を溶解する洗浄液を貯溜させる。洗浄液はカップ5の内壁に沿って供給され、この洗浄液が貯溜される。洗浄液の貯溜は一時的に行われ、所定量の洗浄液が貯溜されると洗浄液は溶解された塗布液とともに排出される。
請求項（抜粋）：
基板の上面に塗布液を塗布する回転塗布装置において、前記基板を水平支持した状態で回転させる回転台と、前記回転台を取り囲むように配置され、前記塗布液の飛散を防止するカップと、前記カップ内に前記塗布液を溶解する洗浄液を貯溜させる洗浄液貯溜手段と、を備えたことを特徴とする回転塗布装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, B05C 11/08
, B05D 1/40
, G03F 7/16 502
H01L 21/30 564 C
, B05C 11/08
, B05D 1/40 A
, G03F 7/16 502
