特許

J-GLOBAL ID：200903068162589384

表面観察装置

発明者： 小俣 公夫 ,  井口 敏 ,  新田 勇
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団 ,  小俣 公夫 ,  井口 敏 ,  新田 勇
代理人 (1件)： 加古 進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-172122
公開番号（公開出願番号）：特開2002-365027
出願日： 2001年06月07日
公開日（公表日）： 2002年12月18日
要約：

【要約】【課題】 被検物の表面の粗さ、キズ、ごみ等を容易に判別可能とする表面観察装置を提供する。【解決手段】レーザー(コヒーレント光)光束を被検物の計測面で、コリメータ・レンズとシリンドリカル・レンズにより構成される光学系で作り出される、被検物の表面で結像する細い線状光束を投影する。被検面の反射光は、1次元のスペックル・パターンを形成する。この反射光をCCDカメラ等で取り込んで、表示や処理を行う。この装置を用いることで被検物に非接触で、どんなものでも表面観察可能である。被検物の表面の状態の観察や、移動距離・速度について高精度の計測が簡単な機構で実現する。非接触で行えるので、水面の揺らぎや、血管の動き、振動現象などの可視化等も可能となる。

請求項（抜粋）：

コヒーレント光を被検物に投射し、反射光により被検物の状態を観察する表面観察装置であって、コヒーレント光の光源と、前記光源より射出された光束を任意の大きさに調整する光束調整部と、前記光束調整部により射出された光束を、前記被検物の表面上で1本の線状に結像する光束結像部と、前記被検物から反射光を受けてスペックル・パターンを表示する表示部とを備えることを特徴とする表面観察装置。

IPC (4件)：

G01B 11/30 102 ,  G01B 11/00 ,  G01M 11/00 ,  G01N 21/88

FI (4件)：

G01B 11/30 102 B ,  G01B 11/00 G ,  G01M 11/00 M ,  G01N 21/88 Z

Fターム (40件)：

2F065AA09 ,  2F065AA50 ,  2F065BB05 ,  2F065EE05 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF56 ,  2F065FF61 ,  2F065GG04 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL08 ,  2F065LL12 ,  2F065LL21 ,  2F065MM02 ,  2F065QQ24 ,  2F065SS03 ,  2F065SS13 ,  2F065UU05 ,  2F065UU07 ,  2G051AA34 ,  2G051AA90 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051AB10 ,  2G051BA10 ,  2G051BB07 ,  2G051BB09 ,  2G051BB11 ,  2G051BB19 ,  2G051BC05 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CC20 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA30 ,  2G086GG01