特許

J-GLOBAL ID：200903068165290215

感光性ガラスの加工方法

発明者： 矢部 明 ,  新納 弘之 ,  近藤 宣裕 ,  大野 裕和 ,  高橋 智明 ,  高橋 司長 ,  松村 敏雄
出願人/特許権者： 工業技術院長 ,  株式会社精工舎
代理人 (2件)： 松田 和子 (外1名) ,  松田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-327762
公開番号（公開出願番号）：特開平6-218563
出願日： 1991年12月11日
公開日（公表日）： 1994年08月09日
要約：

【要約】【構成】 感光性ガラスの露光感度波長域に発振波長をもつレーザーを照射することによってその感光性ガラス1を露光した後、露光部1cの熱現像およびエッチングを行なう加工方法。【効果】 レーザーは直進性がよいので、厚い感光性ガラスの表裏両面でも露光部に寸法誤差が生じることがない。従って、エッチング時の加工精度が向上する。特に感光性ガラスの表裏両面にそれぞれエッチングする場合、両面を同一形状に正確に加工できる。また、レーザーの発光エネルギーの殆どが感光性ガラスの露光に使われるため、エネルギーの無駄がなく効率がよい。

請求項（抜粋）：

感光性ガラスを、発振波長が上記感光性ガラスの露光感度波長域にあるレーザーの照射によって露光することを特徴とする感光性ガラスの加工方法。

IPC (2件)：

B23K 26/00 ,  C03C 15/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-183981
  
• 特開昭54-106524