ウェーハ加工装置用コンディショナー装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-385695
公開番号（公開出願番号）：特開2003-181756
出願日： 2001年12月19日
公開日（公表日）： 2003年07月02日
要約：

【要約】【課題】本発明は、ウェーハ加工装置の研磨布やウェーハ保持テーブルの状態を良好に整えることができるコンディショナー装置を提供する。【解決手段】本発明のコンディショナー装置10は、エアバック32に圧縮エアを供給し、膨らんだエアバック32によってドレス用砥石26を押し下げる。そして、ドレス用砥石26とブラシ19とが研磨布14に同時に当たる所定位置に、ドレス用砥石26が位置したところで、圧縮エアの供給を停止する。そして、ヘッド本体18を微小量下降移動させてドレス用砥石26を研磨布14に押圧するとともに、定盤12及びヘッド本体18を回転させて研磨布14のドレスを行う。この時、リンス水供給口40からリンス水を研磨布14に滴下し、研磨布14のリンス洗浄とドレスとを同時に実施する。また、ドレス時には、ブラシ19によって研磨布14の表面又は溝にある屑(研磨屑、研磨布屑、スラリ等の屑)が掻き出され、この掻き出した屑を吸引口49から吸引し除去する。

請求項（抜粋）：

ウェーハを研磨するウェーハ加工装置に設けられるとともに、該ウェーハ加工装置のウェーハ研磨部材をドレッシングするコンディショナー装置において、該コンディショナー装置は、装置本体と、該装置本体に設けられ、前記ウェーハ研磨部材に押し付けられるとともに装置本体とウェーハ研磨部材との相対回転によってウェーハ研磨部材をドレッシングするドレス用砥石と、該装置本体に設けられるとともに前記ウェーハ研磨部材にリンス水を供給するリンス水供給手段と、該装置本体に設けられ、前記ウェーハ研磨部材の表面に詰まった屑を掻き出すブラシ部材と、該装置本体に設けられ、前記ブラシ部材で掻き出された屑を吸引除去する屑除去手段と、を有することを特徴とするウェーハ加工装置用コンディショナー装置。

IPC (4件)：

B24B 37/00 , B24B 53/007 , B24B 53/02 , H01L 21/304 622

FI (4件)：

B24B 37/00 A , B24B 53/007 , B24B 53/02 , H01L 21/304 622 M

Fターム (7件)：

3C047AA34 , 3C047FF08 , 3C047GG00 , 3C058AA07 , 3C058AA19 , 3C058CB01 , 3C058DA17

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