特許

J-GLOBAL ID：200903068176875495

ガス精製方法

発明者： 池田 亨 ,  佐々木 義明 ,  岩田 輝夫
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-082126
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300436
出願日： 1993年04月08日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：

【要約】【目的】 従来に較べて高純度のガスを簡便に得ることのできるガス精製方法を提供する。【構成】 CO2 が充填されたガス収容器20を冷媒槽21内に配設し、弁24を開けて冷媒槽21内に冷媒を供給して、ガス収容器20内のCO2 を冷却する。ガス収容器20内のCO2 が、ドライアイス化した時点で、弁29を開け、ターボー分子ポンプ27およびロータリーポンプ28によって冷媒槽21内の真空排気を行う。これによって、ガス収容器20内の酸素、窒素、アルゴン等の不純物ガスが排出される。

請求項（抜粋）：

不純物が混入した被精製物から前記不純物を除去して精製するガス精製方法において、ガス収容器内に収容した前記被精製物を、この被精製物の凝結温度以下であって、前記不純物の凝結温度以上の温度に冷却する第1の工程と、前記ガス収容器内を真空排気して前記不純物を除去する第2の工程とを具備したことを特徴とするガス精製方法。

IPC (2件)：

F25J 3/08 ,  H01L 21/302