特許

J-GLOBAL ID：200903068177772878

アンテナ構造を備えた帯電量評価素子

発明者： 大野 茂 ,  谷口 斉
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-179372
公開番号（公開出願番号）：特開2001-349869
出願日： 2000年06月09日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：

【要約】【課題】静電気や電気的ストレスによる磁気ヘッド素子の損傷を評価し、その低減に寄与する帯電量評価素子を提供する。【解決手段】基板上に導電層を配し、その上に絶縁層を介して大小1対の電極を設ける。この時、導電層と大きい方の電極とが重なりあっている領域の絶縁膜が他の部分に比べて薄くなるように形成する。この領域がプロセスによるダメージの影響を受けやすくすることによって、プロセスダメージを定量的に、かつ製品より高感度に評価することを可能とする。

請求項（抜粋）：

少なくとも面積比が2以上なる二つの電極を有し、一方の電極と電気的に接続された導電膜が、他方の電極の少なくとも一部の下部領域に配置された第1の絶縁膜を介して接続されてなることを特徴とする帯電量評価素子。

IPC (6件)：

G01N 27/60 ,  G11B 5/39 ,  G11B 5/455 ,  G11B 5/84 ,  H01L 21/66 ,  G01R 29/24

FI (6件)：

G01N 27/60 A ,  G11B 5/39 ,  G11B 5/455 Z ,  G11B 5/84 C ,  H01L 21/66 Y ,  G01R 29/24 Z

Fターム (8件)：

4M106AA01 ,  4M106CA70 ,  4M106DH11 ,  4M106DJ38 ,  5D034CA07 ,  5D034DA05 ,  5D112AA24 ,  5D112JJ06