特許

J-GLOBAL ID：200903068184643560

炭化珪素単結晶の製造方法

発明者： 岡本 篤人 ,  杉山 尚宏 ,  谷 俊彦 ,  神谷 信雄 ,  近藤 宏行
出願人/特許権者： 株式会社豊田中央研究所 ,  株式会社デンソー
代理人 (1件)： 伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-338389
公開番号（公開出願番号）：特開2001-158696
出願日： 1999年11月29日
公開日（公表日）： 2001年06月12日
要約：

【要約】【課題】 炭化珪素単結晶に存在しているマイクロパイプ欠陥を炭化珪素単結晶の内部で閉塞させる。【解決手段】 マイクロパイプ欠陥6を有する炭化珪素基板結晶1を用意し、、炭化珪素基板結晶1の両面に接するように被覆材料5を配置する。そして、被覆材料5が配置された炭化珪素基板結晶1に対して加圧熱処理を行い、被覆材料5と炭化珪素基板結晶1とを一体化させる。この後、被覆材料5と一体化された炭化珪素基板結晶1に熱処理を施すことにより、炭化珪素基板結晶1に存在するマイクロパイプ欠陥6を炭化珪素基板結晶1の内部で閉塞させる。このような加圧熱処理を施すことにより、被覆材料5によって炭化珪素基板結晶1に形成されたマイクロパイプ欠陥を隙間なく埋めることができるため、マイクロパイプ欠陥閉塞工程で効果的にマイクロパイプ欠陥6を閉塞することができる。

請求項（抜粋）：

マイクロパイプ欠陥(6)を有する炭化珪素単結晶からなる炭化珪素基板結晶(1)を用意する工程と、前記炭化珪素基板結晶の両面に接するように被覆材料(5)を配置する工程と、 前記被覆材料が配置された炭化珪素基板結晶に対して加圧熱処理を行い、前記被覆材料と前記炭化珪素基板結晶とを一体化させる工程と、前記被覆材料と一体化された前記炭化珪素基板結晶に熱処理を施すことにより、前記炭化珪素基板結晶に存在する前記マイクロパイプ欠陥を前記炭化珪素基板結晶の内部で閉塞させ、前記マイクロパイプ欠陥の少なくとも一部が塞がれた閉塞孔(7)を形成する工程と、を備えていることを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。

IPC (2件)：

C30B 29/36 ,  C30B 31/02

FI (2件)：

C30B 29/36 A ,  C30B 31/02

Fターム (5件)：

4G077AA03 ,  4G077BE08 ,  4G077ED01 ,  4G077ED06 ,  4G077EE10