特許
J-GLOBAL ID：200903068191107780

固体撮像装置およびその製造方法

発明者：
加藤 良章

加藤 良章 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-308424
公開番号（公開出願番号）：特開2005-175442
出願日： 2004年10月22日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：
【課題】 フォトダイオード周囲の上部に入射した光を、広範囲で有効にフォトダイオードに集光することを可能とする。 【解決手段】 1次元または2次元状に配列されたフォトダイオード群1と、フォトダイオードの上に形成された透光性の無機物質からなる無機誘電体膜8b、8cと、無機誘電体膜中に、無機誘電体膜からなる内側側壁および外側側壁に挟まれた状態に形成された中空層9とを備え、中空層は、フォトダイオードの上部周辺部を起点としてフォトダイオードから離れるに従って開口が広がる漏斗形状を有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
1次元または2次元状に配列されたフォトダイオード群と、 前記フォトダイオードの上に形成された透光性の無機物質からなる無機誘電体膜と、 前記無機誘電体膜中に、前記無機誘電体膜からなる内側側壁および外側側壁に挟まれた状態に形成された中空層とを備え、 前記中空層は、前記フォトダイオードの上部周辺部を起点として前記フォトダイオードから離れるに従って開口が広がる漏斗形状を有する固体撮像装置。
IPC (3件)：
H01L27/14 ,  H01L31/10 ,  H04N5/335
FI (4件)：
H01L27/14 D ,  H04N5/335 F ,  H04N5/335 U ,  H01L31/10 A
Fターム (35件)：
4M118AA01 ,  4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA13 ,  4M118CA02 ,  4M118CA03 ,  4M118CA32 ,  4M118FA06 ,  4M118FA08 ,  4M118FA35 ,  4M118GB03 ,  4M118GB08 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  4M118GD14 ,  5C024BX01 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024EX43 ,  5C024GX03 ,  5C024GY01 ,  5F049MA01 ,  5F049MB02 ,  5F049NA02 ,  5F049NB05 ,  5F049PA14 ,  5F049QA04 ,  5F049QA20 ,  5F049RA02 ,  5F049RA08 ,  5F049SS03 ,  5F049SZ07 ,  5F049SZ10 ,  5F049SZ16 ,  5F049SZ20
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特許第2869280号(段落0008、段落0014、図1)
審査官引用 (3件)

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