反射防止膜および該反射防止膜を備えた光学系、ならびに該光学系を用いた露光装置やデバイス製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西山恵三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-219789
公開番号（公開出願番号）：特開2002-082210
出願日： 1994年11月11日
公開日（公表日）： 2002年03月22日
要約：

【要約】【課題】吸収が小さく且つ優れた反射防止特性を有した反射防止膜を提供すること【解決手段】反射防止膜において、6層構造を有し、この6層は空気側から順に第1、第3層が低屈折率層、第2、第4、第6層が高屈折率層より成り、第5層はAl2O3を含むようにした。

請求項（抜粋）：

6層構造を有し、該6層は空気側から順に第1、第3層が低屈折率層、第2、第4、第6層が高屈折率層より成ると共に、第5層はAl2O3を含むことを特徴とする反射防止膜。

IPC (2件)：

G02B 1/11 , H01L 21/027

FI (2件)：

G02B 1/10 A , H01L 21/30 515 D

Fターム (9件)：

2K009AA07 , 2K009AA09 , 2K009BB02 , 2K009CC03 , 2K009DD03 , 2K009DD04 , 5F046BA03 , 5F046CB01 , 5F046CB12

引用特許：

審査官引用 (9件)

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