特許

J-GLOBAL ID：200903068192234491

圧電振動片の製造方法

発明者： 岩本 修
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-062304
公開番号（公開出願番号）：特開2001-251154
出願日： 2000年03月07日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：

【要約】【課題】 圧電振動片の振動周波数を目的とする振動周波数に高精度に調整することができる圧電振動片の製造方法を提供すること。【解決手段】 振動部31の中央部が薄板化された圧電振動片30を製造する際、前記振動部の一部に第1の電極32を形成し、前記第1の電極に電圧を印加し前記振動部を振動させて振動周波数を測定し、前記振動部の振動が前記目的振動周波数となるように測定によって得られた測定振動周波数に基づいて前記振動部の中央部の部分を除去し、前記振動部の中央部に第2の電極33を形成する。このように、製造工程内で振動部の振動周波数を直接測定して振動部を修正するようにしているので、目的とする振動周波数に高精度に調整することができる。

請求項（抜粋）：

振動部の中央部が薄板化された圧電振動片の製造方法において、前記振動部の一部に第1の電極を形成し、前記第1の電極に電圧を印加し前記振動部を振動させて振動周波数を測定し、前記振動部の振動が設定振動周波数となるように測定によって得られた測定振動周波数に基づいて前記振動部の中央部の部分を除去し、前記振動部の中央部に第2の電極を形成することを特徴とする圧電振動片の製造方法。

IPC (3件)：

H03H 3/04 ,  H01L 41/22 ,  H03H 9/19

FI (3件)：

H03H 3/04 B ,  H03H 9/19 A ,  H01L 41/22 Z

Fターム (10件)：

5J108AA02 ,  5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108FF02 ,  5J108HH04 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108KK05 ,  5J108MM14 ,  5J108NB02