特許

J-GLOBAL ID：200903068194483120

スピン処理装置におけるウエーハ固定機構

発明者： 大沢 忠康 ,  高野 忠
出願人/特許権者： 株式会社カイジョー
代理人 (1件)： 藤井 紘一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-400838
公開番号（公開出願番号）：特開2002-203891
出願日： 2000年12月28日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
要約：

【要約】【課題】 ウエーハの回転中にウエーハの保持位置を変えることができるようにし、従来問題となっていたウエーハとウエーハ保持溝との接触点の洗浄またはエッチング残りをなくしたスピン処理装置におけるウエーハ固定機構を提供する。【解決手段】 ウエーハを回転テーブル1上に載せて高速回転しながらウエーハ表面を洗浄またはエッチング処理するスピン処理装置において、ウエーハWの外周縁部に沿って複数本のウエーハ固定シャフト8を回転テーブル1上に回動自在に立設するとともに、該ウエーハ固定シャフト8を所望の角度づつ自在に回転可能なシャフト回転駆動手段(9、10、7、6、21、14、17、18、20、19)を備え、ウエーハ固定シャフト8の先端部には、その側面を一部切り欠くことによってウエーハ搬入搬出時のウエーハ逃げ面11を形成するとともに、該ウエーハ逃げ面と反対側のシャフト先端部周面には、ウエーハWの外周縁に接してウエーハを押圧保持するウエーハ保持溝13をシャフト円周方向に沿ってシャフトと同心円状に形成した。

請求項（抜粋）：

ウエーハを回転テーブル上に載せて高速回転しながらウエーハ表面を洗浄またはエッチング処理するスピン処理装置において、前記ウエーハの外周縁部に沿って複数本のウエーハ固定シャフトを回転テーブル上に回動自在に立設するとともに、該ウエーハ固定シャフトを所望の角度づつ自在に回転可能なシャフト回転駆動手段を備え、前記ウエーハ固定シャフトの先端部には、その側面を一部切り欠くことによってウエーハ搬入搬出時のウエーハ逃げ面を形成するとともに、該ウエーハ逃げ面と反対側のシャフト先端部周面には、ウエーハの外周縁に接してウエーハを押圧保持するウエーハ保持溝をシャフト円周方向に沿ってシャフトと同心円状に形成したことを特徴とするスピン処理装置におけるウエーハ固定機構。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B08B 3/02 ,  H01L 21/304 643 ,  H01L 21/306

FI (4件)：

H01L 21/68 N ,  B08B 3/02 B ,  H01L 21/304 643 A ,  H01L 21/306 N

Fターム (22件)：

3B201AA03 ,  3B201AB33 ,  3B201AB44 ,  3B201AB53 ,  3B201BB21 ,  3B201BB92 ,  3B201BB99 ,  5F031CA02 ,  5F031HA05 ,  5F031HA24 ,  5F031HA30 ,  5F031HA48 ,  5F031HA59 ,  5F031LA11 ,  5F031LA14 ,  5F031MA23 ,  5F031PA30 ,  5F043BB27 ,  5F043EE08 ,  5F043EE35 ,  5F043EE40 ,  5F043GG10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• スピン処理用支持ピン及びスピン処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-050521   出願人：芝浦メカトロニクス株式会社
• エッチング除去方法および装置と洗浄方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-068898   出願人：日本電気株式会社