特許

J-GLOBAL ID：200903068198483060

磁性流体軸封装置

発明者： 小木曽 克彦 ,  松浦 弘 ,  沼倉 知
出願人/特許権者： 理学電機株式会社
代理人 (1件)： 横川 邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-188132
公開番号（公開出願番号）：特開平5-010451
出願日： 1991年07月02日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：

【要約】【目的】 磁性流体が真空室内へ飛散することのない磁性流体軸封装置を提供する。【構成】 真空室Vと大気Aとの間に配置された回転軸2のまわりに、その回転軸2の軸方向に沿って複数のヨーク4を互いに間隔をあけて配列し、各ヨーク4と回転軸2との間に磁力によって磁性流体膜5を形成し、各磁性流体膜5の間に分圧室6を形成させた状態で回転軸2を密封する磁性流体軸封装置において、分圧室6のうち真空室Vに最も近い分圧室6aと、真空室6との間に、空気の通流を許容し、しかし磁性流体の通流は阻止する連通路7を設ける。

請求項（抜粋）：

低圧領域と高圧領域との間に配置された運動軸のまわりに、その運動軸の軸方向に沿って複数のヨークを互いに間隔をあけて配列し、各ヨークと運動軸との間に磁力によって磁性流体膜を形成し、各磁性流体膜の間に分圧室を形成させた状態で運動軸を密封する磁性流体軸封装置において、上記分圧室のうち低圧領域に最も近い分圧室と、低圧領域との間に、空気の通流を許容して低圧領域と分圧室とを互いに等圧にする連通路を設けたことを特徴とする磁性流体軸封装置。