特許
J-GLOBAL ID：200903068209025450
水晶振動子構造体
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-271133
公開番号（公開出願番号）：特開2003-087078
出願日： 2001年09月07日
公開日（公表日）： 2003年03月20日
要約：
【要約】【課題】 筐体を水晶で構成し筐体に貫通孔を開けて内外の導通をとる時、貫通孔内部のエッチング残滓によって金属膜が連続しない部分や薄い部分が生じ、そのため配線抵抗値にばらつきが多く、最悪の場合断線してしまう。【解決手段】 貫通孔の形状を多角形とし、多角形を構成する貫通孔の内側面のそれぞれが水晶のX軸と垂直になるようにした。Z軸方向に比してX軸方向のエッチング速度が遅いので、エッチングはほとんどZ軸方向に進み、エッチング残滓のない形状が得られ、配線抵抗値のばらつきを小さくし、断線を防ぐことができた。
請求項（抜粋）：
水晶振動子と該水晶振動子を内部に収納し気密封止するための筐体からなる水晶振動子構造体であって、該筐体は水晶からなり、該筐体の内部と外部とを結ぶ貫通孔を有し、該貫通孔の断面形状は略多角形であり、該多角形を構成する内側面のそれぞれが水晶の結晶軸のX軸に対して略垂直であることを特徴とする水晶振動子構造体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
5J108BB02
, 5J108CC04
, 5J108CC10
, 5J108CC11
, 5J108EE03
, 5J108EE07
, 5J108FF11
, 5J108FF13
, 5J108GG03
