特許

J-GLOBAL ID：200903068211961022

全反射減衰を利用したセンサー

発明者： 清水 仁
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-025602
公開番号（公開出願番号）：特開2003-227792
出願日： 2002年02月01日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：

【要約】【課題】 全反射減衰を利用したセンサーにおいて、試料の屈折率に係わらず、精度良く全反射減衰の状態を測定する。【解決手段】 光ビーム13を、誘電体ブロック10と金属膜12との界面10bに対して種々の入射角が得られるように入射させ、界面10bで全反射した光ビーム13をフォトダイオードアレイ17により検出して、試料液11の特性を分析するセンサーにおいて、測定に先立ち、以下の暗線位置調整動作を行う。まず、入射角制御部34において、光ビーム13のプロファイルを検出し、このプロファイルにおける全反射減衰の状態を示す暗線Dの相対位置を求める。暗線Dがプロファイルの中央へくるように、アクチュエータ35により、光源14および集光レンズ15を移動して、ビーム13が界面10bへ入射する入射角度を調整する。試料液11の屈折率に係わらず、暗線Dがプロファイルの中央にくる状態で測定を行うことを可能にする。

請求項（抜粋）：

光ビームを発生させる光源と、前記光ビームに対して透明な誘電体ブロックと、該誘電体ブロックの一面に形成されて、試料に接触させられる薄膜層と、前記光ビームを前記誘電体ブロックに対して、該誘電体ブロックと前記薄膜層との界面で全反射条件が得られるように種々の入射角で入射させる光学系と、前記界面で全反射した光ビームの強度を検出する光検出手段と、該光検出手段の検出結果に基づいて全反射減衰の状態を測定する測定手段とを備えてなる全反射減衰を利用したセンサーにおいて、前記界面で全反射した光ビームのプロファイルを検出し、該プロファイルにおける前記全反射減衰を示す暗線の相対的位置を求め、該相対的位置に基づいて、前記光ビームが前記界面に入射する入射角を、前記暗線の位置が前記プロファイルの略中央にくるように調整する入射角度調整手段をさらに備えたことを特徴とする全反射減衰を利用したセンサー。

IPC (2件)：

G01N 21/27 ,  G01N 21/03

FI (2件)：

G01N 21/27 C ,  G01N 21/03 Z

Fターム (26件)：

2G057AA02 ,  2G057AB04 ,  2G057AB07 ,  2G057AC01 ,  2G057BA01 ,  2G057BB06 ,  2G057BC07 ,  2G057HA04 ,  2G059AA01 ,  2G059AA05 ,  2G059BB04 ,  2G059BB12 ,  2G059CC16 ,  2G059DD12 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059GG01 ,  2G059GG04 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM09 ,  2G059MM11 ,  2G059PP04