特許

J-GLOBAL ID：200903068213433260

超純水による洗浄方法

発明者： 前川 敏郎 ,  南 吉夫 ,  横井 啓二 ,  濱田 聡美
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-210659
公開番号（公開出願番号）：特開平8-052443
出願日： 1994年08月11日
公開日（公表日）： 1996年02月27日
要約：

【要約】【目的】 超純水を用いた洗浄による、粒子汚染、分子汚染という問題を除去することのできる超純水による洗浄方法を提供する。【構成】 中央部に流れる超純水の洗浄用水流11と、該水流を取巻く超純水又は純水の保護用水流12とを被洗浄物10に流射し、前記洗浄用水流が被洗浄物の洗浄部位に流射して該洗浄部位を被覆して流出し、前記保護用水流は大気中の静電気又はガス成分を取り込み、該取り込まれた静電気又はガス成分が前記洗浄用水流に拡散する前に、前記被覆部分に到達して流出する。

請求項（抜粋）：

中央部に流れる超純水の洗浄用水流と、該水流を取巻く超純水又は純水の保護用水流とを被洗浄物に流射し、前記洗浄用水流が被洗浄物の洗浄部位に流射して該洗浄部位を被覆して流出し、前記保護用水流は大気中の静電気又はガス成分を取り込み、該取り込まれた静電気又はガス成分が前記洗浄用水流に拡散する前に、前記被覆部分に到達して流出することを特徴とする超純水による洗浄方法。

IPC (2件)：

B08B 3/02 ,  H01L 21/304 341

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-143558
  
• 特開平3-148825
  
• 特開平3-143558
  
• 特開平3-148825