特許

J-GLOBAL ID：200903068217105977

酸化亜鉛系透明導電性膜

発明者： 高塚 裕二
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 田中 増顕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-212849
公開番号（公開出願番号）：特開平9-045140
出願日： 1995年07月28日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：

【要約】【課題】 透過率が低下しない酸化亜鉛系透明導電膜を提供する。【解決手段】 正三価以上の原子価を有する元素を含有する酸化亜鉛系透明導電性膜において、正三価以上の元素として、アルミニウムを0.05wt%以上0.5wt%以下を含み、チタンまたはクロムを0.1wt%以上4wt%以下を含む。

請求項（抜粋）：

正三価以上の原子価を有する元素を含有する酸化亜鉛系透明導電性膜において、正三価以上の元素として、アルミニウムを0.05wt%以上0.5wt%以下を含み、チタンまたはクロムを0.1wt%以上4wt%以下を含むことを特徴とする酸化亜鉛系透明導電性膜。

IPC (4件)：

H01B 5/14 ,  C01G 9/02 ,  C23C 14/08 ,  H01B 13/00 503

FI (4件)：

H01B 5/14 A ,  C01G 9/02 A ,  C23C 14/08 C ,  H01B 13/00 503 B