特許

J-GLOBAL ID：200903068217466635

プラズマ装置およびその運転方法

発明者： 渡辺 昌英 ,  窪田 昌巳
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン山梨株式会社
代理人 (1件)： 亀谷 美明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-160375
公開番号（公開出願番号）：特開平6-346256
出願日： 1993年06月04日
公開日（公表日）： 1994年12月20日
要約：

【要約】【目的】 プラズマ装置のサセプタを高速に低温域にまで冷却可能な装置及び方法を得る。【構成】 本発明によれば、熱交換器を介さずに、冷凍回路6をサセプタ内の冷媒流路5に直結することにより、熱交換損失の少ない冷媒循環系を形成することが可能である。その結果、高速に所望の低温にまでサセプタを冷却することが可能である。さらにまたバイパス路を冷凍回路6に設けることにより、サセプタの昇温および循環系のデフロストを容易に行うことができる。また冷凍回路6を多元構成にすることにより、冷媒を高速に所望の低温域にまで冷却することができる。

請求項（抜粋）：

プラズマ処理室内に被処理体を載置固定するサセプタを冷却するための冷媒循環系を備え、その冷媒循環系が、前記サセプタに内設され第1の冷媒送り管路と第1の冷媒戻り管路とを備えた冷媒流路と、第2の冷媒送り管路と第2の冷媒戻り管路とを備え循環冷媒を冷却するための冷凍回路と、前記第1の冷媒送り管路と前記第2の冷媒送り管路とを接続するための第1の接続手段と、前記第1の冷媒戻り管路と前記第2の冷媒戻り管路とを接続するための第2の接続手段とから構成され、さらに前記冷媒循環系には真空排気手段と冷媒供給源とが選択的に接続可能であることを特徴とする、プラズマ装置。

IPC (4件)：

C23F 4/00 ,  C23C 14/50 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/302

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-247390
  
• 特開平3-192644
  
• 特開平2-058828