特許
J-GLOBAL ID：200903068219614968
角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
日比谷 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-341126
公開番号（公開出願番号）：特開平5-240874
出願日： 1992年11月28日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：
【要約】【目的】 高精度で小型かつコストの低い角速度センサを製作する。【構成】 振動子基板21から、振動子22及び支持梁23を振動子22の中央部を支持梁23で支持するように一体に形成する。振動子22の両端には駆動用コイル24を形成し、支持梁23上を通って端子25に引き出す。更に、振動子基板21には歪ゲージ26a〜26d、更に検出回路27を形成し、歪ゲージ26a〜26dの歪を検出回路27により検出する。振動子基板21の下方には支持台29を有する支持基板28、及びその下方には永久磁石30を設け、振動子基板21と支持基板28は陽極接合法により接合し、支持基板28と永久磁石30は接着剤により接合する。
請求項（抜粋）：
角速度を検出するための角速度センサであって、基板に一体に形成した支持梁と、該支持梁により中央部を支持した振動部材とを有し、該振動部材の両端が前記基板の面と直交する方向に振動する方向を主振動方向とし、前記振動部材の振動中の前記主振動方向と直交する方向の変位を検出することにより、前記振動部材の長手方向に延在する軸を回転中心とする回転の回転角速度を検出することを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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