特許
J-GLOBAL ID：200903068221053574
固体撮像装置の組み立て方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾身 祐助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-143612
公開番号（公開出願番号）：特開平5-315445
出願日： 1992年05月08日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：
【要約】【目的】 固体撮像装置の組み立て工程、特にダイシング時の切削クズによる黒キズ発生を防止する。表面保護シートの剥離率を高くする。【構成】 固体撮像素子の形成されたウェハの表面に表面保護シート5を貼り付けウェハをダイシング用シート2上に貼り付ける。ダイシング後ダイシング用シート2を拡大し、切断されたチップ4間の間隙(aおよびb)を所定の距離(例えば5mm以上)に確保した後、剥離用シート3によって表面保護シート5の剥離を行う。
請求項（抜粋）：
固体撮像素子の形成されたウェハの表面に保護シートを貼り付ける工程と、ダイシング用シート上に前記ウェハの裏面を貼り付けてダイシングを行う工程と、剥離用シートを介して固体撮像素子チップの表面に貼り付けられている前記保護シートを剥離する工程と、を含む固体撮像装置の組み立て方法であって、前記保護シートの剥離を、切断された固体撮像素子チップ間に所定の幅の間隙を確保して行うことを特徴とする固体撮像装置の組み立て方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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