特許
J-GLOBAL ID:200903068223432122

結晶の熱処理方法及びその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 内田 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-106961
公開番号(公開出願番号):特開平9-295899
出願日: 1996年04月26日
公開日(公表日): 1997年11月18日
要約:
【要約】【課題】 熱処理する円柱状結晶の半径方向の温度分布を均一にし、かつ、円柱状結晶の端部近傍における温度分布を均一にして、熱処理後の結晶内の特性を均一にする熱処理方法及びその装置を提供しようとするものである。【解決手段】 縦型加熱炉の中で、円柱状結晶を熱処理する方法において、前記結晶の上端及び/又は下端に熱移動調節体を接触させて前記結晶端部からの熱移動を調節することを特徴とする結晶の熱処理方法である。
請求項(抜粋):
縦型加熱炉の中で、円柱状結晶を熱処理する方法において、前記結晶の上端及び/又は下端に熱移動調節体を接触させて前記結晶端部からの熱移動を調節することを特徴とする結晶の熱処理方法。
引用特許:
出願人引用 (3件)
  • 特公昭51-001679
  • 特開昭59-227799
  • 特開平3-060500
審査官引用 (4件)
  • 特公昭51-001679
  • 特公昭51-001679
  • 特開昭59-227799
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