分散性多層ミラー及び該ミラーの設計方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山崎行造 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-566702
公開番号（公開出願番号）：特表2002-523797
出願日： 1999年08月17日
公開日（公表日）： 2002年07月30日
要約：

【要約】負群遅延分散ミラー(NGDDミラー)多層構造は、低くかつ滑らかに変化する反射移動分散と共に所望の反射レベル及び反射帯域幅を与えることを主とした役目とする後層グループと、所望のNGDDレベルと帯域幅を与えるために必要な高反射位相分散を発生させることを主とした役目とする前層グループとしておおまかに定義される。前層グループは、ほぼ一定のNGDDを与えるために位相分散を形成する1つ以上の副1/4波層を用いる2つ以上の有効共振空洞のような多重共振トラッピング機構に依存する。構造の特定の実施形態において、高反射金属の基層又は基板を用い、高反射を与えるために必要な誘電層の数を減少させる。

請求項（抜粋）：

選択された高反射率値よりも大きな反射率を与えかつ選択された波長帯域に渡り実質的に一定の負群遅延分散を与える多重ミラーであって、基板と、前記基板に堆積された第1及び第2複数層であって、前記第2複数層は前記第1複数層の上に重ねられ、前記第1複数層は前記高反射率を与えることを主として機能し、前記第2複数層が前記選択された波長帯域内で前記ミラーのために高反射位相分散を与え、かつ、前記第1複数層と協働して、前記実質的に一定の負群遅延分散を与えるように前記反射位相分散が前記選択された波長帯域のほぼ最も短い波長から最も長い波長に渡り一定に増加するようにすることを主として機能するように、前記波長帯域内の波長の選択的共振トラッピングが前記第2複数層内の1以上の層の少なくとも2つの軸方向に離間した空洞グループにおいて生じるように前記第2複数層を構成した第1及び第2複数層とを含んでなるミラー。

IPC (3件)：

G02B 5/28 , G02B 5/26 , H01S 5/12

FI (3件)：

G02B 5/28 , G02B 5/26 , H01S 5/12

Fターム (13件)：

2H048FA05 , 2H048FA09 , 2H048FA12 , 2H048FA24 , 2H048GA04 , 2H048GA09 , 2H048GA15 , 2H048GA34 , 2H048GA36 , 2H048GA46 , 2H048GA61 , 5F073AA64 , 5F073EA14

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