特許
J-GLOBAL ID：200903068248637950
チャッキング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-309240
公開番号（公開出願番号）：特開平6-134634
出願日： 1992年10月24日
公開日（公表日）： 1994年05月17日
要約：
【要約】【目的】 小型で簡単な構造を有し、従って低価格にでき、粉塵の発生量の少ない新規なチャッキング装置を提供する。【構成】 チャッキングヘッドと、これを案内するガイドと、正圧、負圧により伸縮して上記チャッキングヘッドを往復移動させるベローズからなる。
請求項（抜粋）：
被チャッキング物を押えるチャッキングヘッドと、上記チャッキングヘッドを案内するガイドと、上記チャッキングヘッドに取付けられ、正圧、負圧により伸縮してチャッキングヘッドを往復移動させるベローズと、を有することを特徴とするチャッキング装置
IPC (4件)：
B23Q 3/06 303
, B23Q 3/06
, B23P 19/00 304
, H01L 21/68
