特許

J-GLOBAL ID：200903068249913773

シリコンウェハ用ラップ液およびラップ剤

発明者： 黒田 征司 ,  山下 誠
出願人/特許権者： 東京ファインケミカル株式会社
代理人 (1件)： 八田 幹雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-178331
公開番号（公開出願番号）：特開平10-022241
出願日： 1996年07月08日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：

【要約】【課題】 アミン類と同等の優れた防錆力を有し、かつアミン類および亜硝酸イオンを含まないシリコンウェハ用ラップ液を提供する。【解決手段】 基剤である水に有機酸およびその塩よりなる群から選ばれてなる少なくとも1種が配合されてなることを特徴とするシリコンウェハ用ラップ液。

請求項（抜粋）：

基剤である水に、有機酸およびその塩よりなる群から選ばれてなる少なくとも1種が配合されてなることを特徴とするシリコンウェハ用ラップ液。

IPC (3件)：

H01L 21/304 321 ,  B24B 37/00 ,  C09K 3/14 550

FI (3件)：

H01L 21/304 321 P ,  B24B 37/00 H ,  C09K 3/14 550 Z