特許
J-GLOBAL ID：200903068252768270
走査電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-055389
公開番号（公開出願番号）：特開平6-267484
出願日： 1993年03月16日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】走査電子顕微鏡において、試料から生じた二次電子と反射電子由来の二次電子を区別できるようにする。【構成】検出器の先端もしくはその近傍に正または負の電圧をかけることのできる電極を設け、電極にかける電圧により試料より生じた純粋な二次電子信号と反射電子により生じた二次的な二次電子信号を区別できる。【効果】試料がチャージアップしにくいときには、二次電子情報のみで像を形成すれば、より高分解能な観察が可能になる。試料がチャージアップしやすいときでも、反射電子由来の二次電子が支配的な信号で像を形成すれば、立体感のある像が得られる。
請求項（抜粋）：
電子銃から放出された電子線を加速する手段と、その加速された電子線を試料上で収束させる手段と、その収束された電子線を試料上で走査する手段と、走査したことにより試料上から発生する二次電子を検出するための検出器と、検出器の信号を走査電子顕微鏡像として陰極線管等に表示する手段を備えた走査電子顕微鏡において、前記検出器の先端もしくはその近傍に正または負の電圧をかけることのできる電極を設け、電極にかける電圧により試料より生じた純粋な二次電子信号と反射電子により生じた二次的な二次電子信号を区別できることを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (2件)：
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