特許
J-GLOBAL ID：200903068256690585
熱電気測定装置の試料組立体
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-259868
公開番号（公開出願番号）：特開2002-071599
出願日： 2000年08月29日
公開日（公表日）： 2002年03月08日
要約：
【要約】【課題】 熱電気測定装置において、インジウム接着層を介して試料を基板に接着することにより、試料組立体の均熱性を良好にし、接触起電力や熱起電力を小さくする。【解決手段】 窒化アルミニウム製の基板12は、熱伝導が良好な絶縁性の基板である。基板12の中央には中間層16が、両端には中継電極層24、26が形成されている。これらの層は基板12の側から順にTi/Mo/Auの三層構造になっている。中間層16の上に、熱伝導が良好なインジウムからなる接着層18を介して、GaAs試料14が接着されている。試料14の上面には1対の電極層20、22が間隔をあけて形成されている。これらの電極層20、22は試料14の側から順にAuGe/Ni/Auの三層構造になっている。試料14上の電極層20、22と基板12上の中継電極層24、26はAuワイヤ28、30によって接続されている。
請求項（抜粋）：
次の構成を備える熱電気測定装置の試料組立体。(a)電気絶縁性の基板。(b)前記基板の上に形成された1対の中継電極層。(c)前記基板に固定された試料。(d)前記試料と前記基板の間に介在しているインジウムからなる接着層。(e)前記試料の同一平面上に形成された1対の電極層。(f)前記電極層の一方と前記中継電極層の一方を接続する導電性のワイヤと、前記電極層の他方と前記中継電極層の他方を接続する導電性のワイヤ。
IPC (3件)：
G01N 25/00
, G01N 1/28
, G01R 27/26
G01N 25/00 B
, G01R 27/26 C
, G01N 1/28 W
2G028AA01
, 2G028BB11
, 2G028BC02
, 2G028CG07
, 2G028HN09
, 2G040AB08
, 2G040BA18
, 2G040CA13
, 2G040CA22
, 2G040DA02
, 2G040EA06
