同軸形直衝突イオン散乱分光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西田新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-037991
公開番号（公開出願番号）：特開平8-236070
出願日： 1995年02月27日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【目的】測定進行中においてどのような元素が検出されているのかを判断するための機能を備えた同軸形直衝突イオン散乱分光装置を提供する。【構成】イオン散乱測定装置1による実測データに基づくTOFスペクトル上に、シミュレーション計算で求めたTOFスペクトルのピーク位置が表示されるので、その表示から、測定進行中において、試料表面に存在すると予想される元素が実測のTOFスペクトル上に現れているかどうかを監視することができる。

請求項（抜粋）：

イオンビームを試料に入射させその入射位置から散乱角180°付近に散乱するイオンの強度を測定する測定装置と、この測定装置の出力に基づいてTOFスペクトルデータを得るデータ処理部と、入射イオンの元素種及び入射エネルギ、上記測定装置の幾何学配置に関する測定条件、並びに試料表面の予想元素に関する情報を入力するための入力部と、それらの入力情報に基づいて予想元素のTOFスペクトルのピーク位置をシミュレーション計算する演算部と、表示制御部を備え、その表示制御部は、データ処理部で得られた実測データに基づいて表示器の画面上にTOFスペクトルを表示するとともに、この表示のTOFスペクトル上に上記演算部で求めたピーク位置を重ね合わせて表示するように構成されてなる同軸形直衝突イオン散乱分光装置。

IPC (2件)：

H01J 49/40 , G01N 23/225

FI (2件)：

H01J 49/40 , G01N 23/225

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭63-102151
特開昭63-118644
特開昭63-102151

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