特許

J-GLOBAL ID：200903068263902008

レーザ装置

発明者： 足立 宗之 ,  笠松 充男
出願人/特許権者： 株式会社ニデック
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-232803
公開番号（公開出願番号）：特開2001-060733
出願日： 1999年08月19日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
要約：

【要約】【課題】 コロナ放電による十分な予備電離を安定して行う。【解決手段】 レーザ媒質ガスを予備電離し,レーザ光軸に直交する方向に対向して設けられた一対の主放電電極間にグロー放電を発生させることでレーザ光を得るレーザ装置において、レーザ光軸方向に沿って所定間隔で配置された複数のコロナ予備電離用の針状電極と、針状電極の先端部から離隔して配置される誘電体と、針状電極の先端部と対向する位置で誘電体の背後に配置される負荷電極と、を備えることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

レーザ媒質ガスを予備電離し,レーザ光軸に直交する方向に対向して設けられた一対の主放電電極間にグロー放電を発生させることでレーザ光を得るレーザ装置において、レーザ光軸方向に沿って所定間隔で配置された複数のコロナ予備電離用の針状電極と、該針状電極の先端部から離隔して配置される誘電体と、前記針状電極の先端部と対向する位置で前記誘電体の背後に配置される負荷電極と、を備えることを特徴とするレーザ装置。

IPC (2件)：

H01S 3/0977 ,  H01S 3/038

FI (2件)：

H01S 3/097 E ,  H01S 3/03 D

Fターム (6件)：

5F071AA06 ,  5F071CC05 ,  5F071GG03 ,  5F071GG04 ,  5F071GG08 ,  5F071JJ05

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平3-255681