特許

J-GLOBAL ID：200903068267908736

反射点測定装置

発明者： 平田 隆昭 ,  立川 義彦 ,  小宮山 誠 ,  鈴木 泰幸 ,  在原 守
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-114611
公開番号（公開出願番号）：特開平6-323953
出願日： 1993年05月17日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】 信号光の偏波状態による信号強度の変化を改善した反射点測定装置を簡単な構成で実現する。【構成】 レ-ザ光源からの出力光をハ-フミラ-により分割し、測定対象およびミラ-からの反射光を干渉させることにより得られる光路長差に比例したビ-ト信号の周波数または強度を測定することにより前記測定対象の反射点の位置または反射率を得るようにした反射点測定装置において、前記ミラーからの参照光または前記測定対象からの信号光の偏波状態を変化させ、少なくとも2回以上の測定を行い、得られた複数回の信号をデータ処理することにより、ビート信号の強度を得るように構成したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

レ-ザ光源からの出力光をハ-フミラ-により分割し、測定対象およびミラ-からの反射光を干渉させることにより得られる光路長差に比例したビ-ト信号の周波数または強度を測定することにより前記測定対象の反射点の位置または反射率を得るようにした反射点測定装置において、前記ミラーからの参照光または前記測定対象からの反射光の偏波状態を変化させ、少なくとも2回以上の測定を行い、得られた複数回の信号をデータ処理することにより、ビート信号の強度を得るように構成したことを特徴とする反射点測定装置。