特許
J-GLOBAL ID：200903068271580575
全方向同時蒸着重合装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-271309
公開番号（公開出願番号）：特開平7-102364
出願日： 1993年10月04日
公開日（公表日）： 1995年04月18日
要約：
【要約】[目的] 蒸発源容器が容易には破損せず、着脱容易で、蒸着重合時に原料モノマー蒸気の凝縮固化を招かず、更には取り扱いの簡便な全方向同時蒸着重合装置を提供すること。[構成] 真空処理室1に一端が開口している導入管61の他端にO-リング37を介して有底の金属製直管34からなる蒸発源容器35を挿入嵌合して、気密に接続し、かつ蒸発源容器35の温度制御にガイドレール86上を走行する着脱可能な加熱筒70を設ける。
請求項（抜粋）：
真空処理室内に、外部の蒸発源容器からの高分子膜の原料モノマーの蒸気を導入する導入管と、高分子膜を表面に形成させるべき被蒸着材を収容するバレルとを配置した全方向同時蒸着重合装置において、前記蒸発源容器が金属製であり、その開口部を前記導入管に着脱可能に挿入嵌合され、かつシールリングによって気密に接続されており、更には前記蒸発源容器とは間隙をあけて外周を覆う形状の温度制御部が着脱可能に設けられていることを特徴とする全方向同時蒸着重合装置。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
