特許
J-GLOBAL ID:200903068272098718

表面磁気検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-188584
公開番号(公開出願番号):特開平5-196704
出願日: 1991年07月29日
公開日(公表日): 1993年08月06日
要約:
【要約】【目的】本発明の目的は、試料の磁気的性質の情報を高分解能,高感度で検出するのに好適な表面磁気検出装置を提供することにある。【構成】鋭く尖った先端を有する強磁性針を高い飽和磁化を有する磁性材料と高い保磁力を有する磁性材料が少なくとも1層以上の界面を接して構成した表面磁気検出装置。【効果】試料と探針の間の力を検出する表面顕微鏡、特に磁気力を利用する表面磁気検出装置において、磁性探針を高い飽和磁化を有する磁性体と高保磁力を持つ磁性体を界面を接して交互に積層して構成することによって、磁化したときの残留磁化と保磁力の大きな強磁性探針を提供でき、磁性試料の磁気情報を高分解能,高感度で計測できる効果を有する。
請求項(抜粋):
試料と探針の間に力を発生する機能と、探針に作用した力を変位に変換する機能と、前記変位を検出する機能を備えた表面情報検出装置において、該探針が高い飽和磁化を有する磁性材料と高い保磁力を有する磁性材料が少なくとも1層以上の界面を接してなる強磁性針を有することを特徴とする表面磁気検出装置。
IPC (3件):
G01R 33/02 ,  G01R 33/038 ,  G01R 33/12
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開平3-090853

前のページに戻る