特許
J-GLOBAL ID:200903068274012160
多面付けマスク装置及びその組立方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
乗松 恭三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-132249
公開番号(公開出願番号):特開2004-335382
出願日: 2003年05月09日
公開日(公表日): 2004年11月25日
要約:
【課題】複数の有効パターン部を形成するための第一金属マスク及び第二金属マスクをたるみを生じることなくトレイに固定することが可能な構造の多面付けマスク装置及びその組立方法を提供する。【解決手段】トレイ22の両端に複数の溝30を形成しておき、その溝30に第一金属マスク23を構成するテープ状薄板23aを挿入した状態でトレイ22上に、多数のスリットを並べた構造のすだれ部28を備えた第一金属マスク24を乗せ且つ縦方向に張力を付与してトレイ22に固定し、両端の不要部分を除去した後、テープ状薄板23aに張力を付与してたるみを無くし、その状態でトレイ22に固定することで、多面付けマスク装置を組み立てる構成とする。【選択図】 図4
請求項(抜粋):
縦横に複数列ずつ配置された複数の有効パターン部を備えた多面付けマスク装置であって、前記有効パターン部を配置する領域に開口を備えた額縁形状のトレイと、該トレイの表面に、互いに重ねた状態で且つ縦方向に張力を付与した状態で固定され、前記複数の有効パターン部を形成する第一金属マスク及び第二金属マスクとを備え、前記第一金属マスクが、横方向に並んだ有効パターン部と有効パターン部の間の無孔部を形成する複数のテープ状薄板で構成されており、前記第二金属マスクが、前記トレイの開口を覆う大きさの薄板で形成されると共に、横方向に並んだ有効パターン部の各列に対応する領域に、縦方向のスリットを多数並べた構造のすだれ部を形成しており、更に、前記トレイは前記第一金属マスクの各テープ状薄板を取り付ける位置に、前記テープ状薄板の厚さにほぼ等しい深さで且つ前記トレイの開口から外周に通じる溝を形成し、その溝内に前記テープ状薄板を挿入して取り付けていることを特徴とする多面付けマスク装置。
IPC (3件):
H05B33/10
, C23C14/04
, H05B33/14
FI (3件):
H05B33/10
, C23C14/04 A
, H05B33/14 A
Fターム (9件):
3K007AB18
, 3K007BA06
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4K029BD00
, 4K029CA01
, 4K029HA02
, 4K029HA03
, 4K029HA04
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