半導体導波路型受光器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：光石俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-029154
公開番号（公開出願番号）：特開平9-223805
出願日： 1996年02月16日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：

【要約】【課題】ハイメサ加工による工程数の多さや難易度の高い加工を除く半導体導波路型受光器を得る。【解決手段】不純物拡散によるpn接合を形成した導波路構造を有して、スラブ型導波路として用いたものである。

請求項（抜粋）：

第1の半導体層と、この第1の半導体層よりも光の吸収端波長が長く屈折率の大きな第2の半導体層と、この第2の半導体層より光の吸収端波長が短く屈折率の小さな第3の半導体層と、を有する半導体導波路型受光器において、上記第3の半導体層の一部に表面から所定深さにわたり他の領域とは異なる導電形の拡散領域を形成し、この拡散領域及び上記第2の半導体層の一面を深さ方向に光入射端として露出させた、ことを特徴とする半導体導波路型受光器。

IPC (2件)：

H01L 31/0232 , G02B 6/42

FI (2件)：

H01L 31/02 D , G02B 6/42

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭63-283080
特開昭63-224252
特開平2-189982

全件表示

審査官引用 (2件)

特開昭63-283080
特開昭63-283080

前のページに戻る