特許

J-GLOBAL ID：200903068275117594

X線分析装置

発明者： 大野 壱永 ,  橋詰 幸郎 ,  桑田 正彦 ,  渡辺 俊善 ,  大久保 弘
出願人/特許権者： 電気化学計器株式会社 ,  日本電子株式会社 ,  日本電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 阿部 龍吉 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-035972
公開番号（公開出願番号）：特開平10-232285
出願日： 1997年02月20日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】 X線検出器を冷却して使用する真空容器にガスが侵入するのを防ぎ、真空度の低下による冷却効率の悪化を防ぐ。【解決手段】 X線検出器8を冷却装置10と共に真空容器3内に封入して冷却し、X線入射窓7を通して試料4から放射される特性X線6を検出して分析を行うX線分析装置において、X線入射窓7のX線入射側に第2のX線入射窓13を有する隔離室11を設けて試料4のある試料室2とX線検出器8を封入した真空容器3のX線入射窓7との間を隔離する。隔離室11は、真空排気するポンプ12を有する真空室、あるいは真空密封室とする。

請求項（抜粋）：

X線検出器を冷却装置と共に真空容器内に封入して冷却し、X線入射窓を通して試料から放射される特性X線を検出して分析を行うX線分析装置において、前記X線入射窓のX線入射側に第2のX線入射窓を有する隔離室を設けて前記試料のある試料室と前記X線検出器を封入した真空容器のX線入射窓との間を隔離したことを特徴とするX線分析装置。

IPC (3件)：

G01T 7/00 ,  G01N 23/223 ,  G01T 1/24

FI (3件)：

G01T 7/00 A ,  G01N 23/223 ,  G01T 1/24

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-244990
  
• 特開昭61-202180