特許
J-GLOBAL ID:200903068279873300

ワイヤーソウによるインゴッドの切断方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-098119
公開番号(公開出願番号):特開平11-277402
出願日: 1998年03月27日
公開日(公表日): 1999年10月12日
要約:
【要約】【課題】 切り口が平坦で、反りの小さなインゴッドの切断片(ウエハ)を固定砥粒ワイヤーソウ装置を用いて得る。【解決手段】 送り出し用のリールから砥粒が固着したワイヤーを供給し、このワイヤーを複数の溝付きローラに巻掛け、さらにこのワイヤーを巻取り用のリールにより巻取る過程で、上記溝付きローラ間のワイヤーとインゴッドとを相互に圧接しつつワイヤーに往復直線運動を与えて送り方向に走行させてインゴッドを切断加工する方法において、前記ワイヤーは送り出し用のリールから供給され、巻取り用のリールに巻き取られる間に2〜10回ねじられて走行することを特徴とするワイヤーソウによるインゴッドの切断方法。
請求項(抜粋):
送り出し用のリールから砥粒が固着したワイヤーを供給し、このワイヤーを複数の溝付きローラに巻掛け、さらにこのワイヤーを巻取り用のリールにより巻取る過程で、上記溝付きローラ間のワイヤーとインゴッドとを相互に圧接しつつワイヤーに往復直線運動を与えて送り方向に走行させてインゴッドを切断加工する方法において、前記ワイヤーは送り出し用のリールから供給され、巻取り用のリールに巻き取られる間に2〜10回ねじられて走行することを特徴とするワイヤーソウによるインゴッドの切断方法。
IPC (2件):
B24B 27/06 ,  B28D 5/04
FI (3件):
B24B 27/06 S ,  B24B 27/06 H ,  B28D 5/04 C

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