特許

J-GLOBAL ID：200903068282965525

チャンバ機構およびそのガス制御方法

発明者： 宮崎 亨 ,  田辺 義和
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-253985
公開番号（公開出願番号）：特開平8-124817
出願日： 1994年10月19日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：

【要約】【目的】 チャンバ内の急激な圧力変動を低減し、異物の巻き上げを防止するチャンバ機構およびそのガス制御方法を提供する。【構成】 外気と遮断された処理室であるチャンバ1と、チャンバ1内へガスを導くガス導入管2に設置されかつガス流量を調整する導入側バルブ3と、チャンバ1内からガスを排気する排気管4に設置されかつガス流量を調整する排気側バルブ5と、ガス導入管2に接続されかつ多数の小孔9aが設置された導入側筒状部材9と、排気管4に接続されかつ多数の小孔11aが設置された排気側筒状部材11と、チャンバ1内の圧力変化を監視するセンサ6aと、ガス流量を監視するセンサ6bと、センサ6a,6bからの信号に基づいて導入側バルブ3と排気側バルブ5との開閉を個々に同時に制御するバルブ制御手段7とから構成され、チャンバ1内の圧力変化を監視しながらガス導入と真空排気とを同時に行う。

請求項（抜粋）：

外気と遮断された処理室であるチャンバと、前記チャンバ内へガスを導くガス導入管に設置されかつ前記ガスの流量を調整する導入側バルブと、前記チャンバ内から前記ガスもしくは真空を排気する排気管に設置されかつ前記ガスもしくは前記真空の流量を調整する排気側バルブと、前記チャンバ内の少なくとも圧力変化を監視するセンサと、前記センサからの信号に基づいて前記導入側バルブと前記排気側バルブとの両者の開閉を個々に同時に制御するバルブ制御手段とからなることを特徴とするチャンバ機構。