特許

J-GLOBAL ID：200903068284368281

砥粒液供給装置

発明者： 宮島 俊英
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 影井 俊次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-108824
公開番号（公開出願番号）：特開平6-297329
出願日： 1993年04月13日
公開日（公表日）： 1994年10月25日
要約：

【要約】【目的】 砥粒が均一に分散した砥粒液を安定した状態で、一定量を連続的に供給できるようにする【構成】 砥粒液タンク10から加工テープ2に砥粒液を供給するために、一端が貯留液タンク10の液面内に開口し、他端が加工テープ2に向けて開口する砥粒液供給管13と、この砥粒液供給管13に向けて砥粒液を送るために、エアポンプ14に加圧エア配管15を接続し、この加圧エア配管15の他端を砥粒液タンク10内の砥粒液の液面上に開口させることにより、砥粒液タンク10内の砥粒液は脈動等がなく、連続的に砥粒液供給管13に供給されるようになし、また砥粒液タンク10内で砥粒が溶剤から分離して沈殿しないようにするために、撹拌翼11が設けられており、砥粒液供給管13内に滞留する間に砥粒液の砥粒と溶剤とが分離しないようにするために、この砥粒液供給管13の途中位置に、管加振手段16が装着されており、この管加振手段16によって砥粒液供給管13内を常に撹拌させるようにしている。

請求項（抜粋）：

砥粒液を貯留し、内部に攪拌翼を備えた密閉容器からなる砥粒液タンクと、この砥粒液タンクの液面を加圧するために、その液面上に開口する加圧エア配管と、一端が砥粒液タンクの液内に挿入され、他端が研削乃至研磨を行うべきワークに向けて開口する砥粒液供給管と、この砥粒液供給管の途中位置に設けられ、この砥粒液供給管を振動させる管加振手段とを備える構成としたことを特徴とする砥粒液供給装置。