特許
J-GLOBAL ID：200903068287087046
光学部材検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金井 英幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-143006
公開番号（公開出願番号）：特開2002-340738
出願日： 2001年05月14日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：
【要約】【課題】 長尺状で長焦点のfθレンズ等を検査可能な光学部材検査装置を、提供する。【解決手段】 被検レンズ8の光軸は、空間フィルタ12のナイフエッジと直交している。被検レンズ8と空間フィルタ12との間隔は、被検レンズ8の焦点距離に一致している。テレセントリックレンズ21及びラインセンサ22を備えた撮像装置2は、そのラインセンサ22がテレセントリックレンズ21に関して被検レンズ8と光学的に共役な状態を保つように、長尺状の被検レンズ8の形状に対応させて、移動して行く。
請求項（抜粋）：
光源と、前記光源に対向配置されるとともに、平面状の領域内に、前記光源から発せられた光を、拡散させつつ透過させる拡散部分,及び遮断する遮光部分を有する空間フィルタと、前記空間フィルタの後方に配置されるとともに、正のパワーを有する撮像レンズと、所定の撮像線分上に配列された撮像用の画素を複数有し、前記撮像レンズの光軸上における像側に、その各画素をこの撮像レンズに対向させるとともに、その撮像線分をこの撮像レンズの光軸と直交させて配置されたラインセンサと、前記撮像レンズ及び前記ラインセンサを、その撮像レンズの光軸が前記空間フィルタに対して垂直に向いた状態で、前記撮像レンズの光軸と前記ラインセンサの撮像線分とに垂直な方向に移動させる走査駆動部と、少なくとも被検光学部材を含む正のパワーの被検光学系を、前記空間フィルタ及び撮像レンズ間に、その被検光学系の光軸を前記空間フィルタに対して直交させるとともに、前記空間フィルタに対して当該被検光学系の焦点距離だけ離反させて配置するホルダとを備えたことを特徴とする光学部材検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01M 11/00 L
, G01N 21/958
2G051AA90
, 2G051AB01
, 2G051AB07
, 2G051CA04
, 2G051CC07
, 2G051CD04
, 2G086FF05
, 2G086HH07
