特許

J-GLOBAL ID：200903068291660079

圧電アクチュエータ用振動体

発明者： 伊藤 浩信
出願人/特許権者： セイコー電子工業株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-069823
公開番号（公開出願番号）：特開平7-283454
出願日： 1994年04月07日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：

【要約】【目的】 圧電素子と弾性体の固着を良好にし、圧電アクチュエータ用振動体の接着剤による振動の吸収を低減し、エネルギー変換効率を高める。【構成】 圧電素子1と弾性体4を接着して得られる圧電アクチュエータ用振動体において、圧電素子1の弾性体4に対する面の面粗度を粗くし、接着剤で接着し固定する構造により振動体を構成する。面粗度を粗くする方法としてエッチング、ブラスティングまたはポリッシングを行う。

請求項（抜粋）：

圧電素子と弾性体からなる圧電アクチュエータ用振動体において、弾性体に接する圧電素子の表面の面粗度がRmaxで5μmより大きいことを特徴とする圧電アクチュエータ用振動体。

IPC (6件)：

H01L 41/09 ,  B06B 1/06 ,  H01L 21/304 301 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 41/22 ,  H02N 2/00

FI (2件)：

H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭53-076781