特許
J-GLOBAL ID：200903068296107270
処理順序制御装置及び搬送順序制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
大菅 義之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-075900
公開番号（公開出願番号）：特開2000-269305
出願日： 1999年03月19日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：
【要約】【課題】 簡単なロジックで処理対象品の搬送効率を向上させる。【解決手段】 倉庫3には、A工程4用の試験品X1〜X5が保管され、B工程5用の試験品Y1、Y2が保管されているものとすると、負荷算出手段1は、A工程4の負荷がB工程5の負荷よりも大きいと判定し、処理順序制御手段2は、A工程4及びB工程5から同時期に試験品の搬送要求が行われると、負荷の大きいA工程4に試験品X1〜X5を優先して搬送し、試験品X1〜X5の搬送が終わった後に、試験品Y1、Y2をB工程5に搬送する。
請求項（抜粋）：
工程に加わる負荷を算出する負荷算出手段と、負荷の大きい工程の処理を負荷の小さい工程の処理に対して優先して行わせる処理順序制御手段とを備えることを特徴とする処理順序制御装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/02 Z
