特許
J-GLOBAL ID:200903068299321834

抵抗素子及び温度センサー

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 佐藤 成示 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-256378
公開番号(公開出願番号):特開平8-125127
出願日: 1994年10月21日
公開日(公表日): 1996年05月17日
要約:
【要約】【目的】 広い温度範囲で抵抗値が安定な抵抗素子の構造を提供する。【構成】 P 型シリコン基板10上に、正の温度係数を有するP 型拡散抵抗層12(第1抵抗)と、負の温度係数を有する微結晶シリコン抵抗層14(第2抵抗)を形成し、P 型シリコン基板10と微結晶シリコン抵抗層14とを並列に接続した。【効果】 温度変化による抵抗値の変動率を任意に選択することができ、広い温度範囲で抵抗値が安定な半導体装置を得ることができる。
請求項(抜粋):
半導体基板上に、正の温度係数を有する単結晶半導体で構成される第1抵抗と、負の温度係数を有する、微結晶半導体またはアモルファス半導体で構成され、前記第1抵抗と直列または並列に接続される第2抵抗とを備えたことを特徴とする抵抗素子。
IPC (3件):
H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  G01K 7/16
FI (2件):
H01L 27/04 R ,  H01L 27/04 P

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