特許
J-GLOBAL ID：200903068300217990
静電マイクロリレー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-268591
公開番号（公開出願番号）：特開平11-111146
出願日： 1997年10月01日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】 初期動作,復帰動作において所望の動作速度を有し、所望の接点圧を確保できる駆動電圧の低い静電マイクロリレーを提供することにある。【解決手段】 前記アクチュエータ20が、前記ベース10に立設したアンカ21の上面縁部から側方に延在する第1薄板梁部22と、この第1薄板梁部22の自由端から両側へ同一軸心上に延在する一対の第2薄板梁部23と、この第2薄板梁部23に回動可能に連結された可動電極25とからなる。そして、一対の第2薄板梁部23,23の中間に位置する前記第1薄梁部22の下面に可動接点28を設けた。
請求項（抜粋）：
ベースに設けた固定電極と、このベースの上面に固定したアクチュエータの可動電極との間に電圧を印加して生じる静電引力で前記可動電極を駆動し、前記ベースに設けた固定接点に前記アクチュエータに設けた可動接点を接離させて電気回路を開閉する静電マイクロリレーにおいて、前記アクチュエータが、前記ベースに立設したアンカと、このアンカの上面縁部から側方に延在する第1薄板梁部と、この第1薄板梁部の自由端から両側へ同一軸心上に延在する一対の第2薄板梁部と、この第2薄板梁部に回動可能に連結された可動電極とからなり、前記第1薄板梁部の自由端下面に可動接点を設けたことを特徴とする静電マイクロリレー。
引用特許：
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