マイクロポンプ、該マイクロポンプを用いたインクジェット記録ヘッド、及びインクジェット記録装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高野明近 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-341861
公開番号（公開出願番号）：特開2003-145751
出願日： 2001年11月07日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：

【要約】【課題】耐腐食性に優れ、液の性質によらず、あらゆる液を輸送することができ、インクジェット記録ヘッド等に用いられるマイクロポンプを提供する。【解決手段】静電型マイクロポンプは、単結晶シリコン基板11、ノズル板14、電極基板の3部分で構成される。単結晶シリコン基板11にはシリコン振動板2、個別液室18、共通液室16、液流路17が異方性エッチングにより形成されており、液ノズル19、液供給口15が形成されたノズル板14と接合部材27で接合される。単結晶シリコン基板11のインク等の液が接触する全表面には、ポリイミド或いはポリベンゾオキサゾールからなる有機樹脂膜26が形成され、その表面は凹凸等の接着剤吸収構造を有するので、接合時の余剰の接着剤27は吸収され、個別液室18内へはみ出すことはない。

請求項（抜粋）：

液を吐出するための複数のノズルが形成されたノズル板と、エネルギー発生手段を利用して前記液を吐出する前記ノズルに連通した個別液室と該個別液室に連通する共通液室が形成された流路形成部材とからなるマイクロポンプにおいて、前記流路形成部材の前記液が接する側の全ての表面には前記液に対し耐腐食性を有する有機樹脂膜が形成され、該有機樹脂膜表面は接着剤吸収構造を有し、前記ノズル板と流路形成部材は前記有機樹脂膜を介して接着剤で貼り合わされることを特徴とするマイクロポンプ。

IPC (8件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/06 , B41J 2/16 , B81B 3/00 , F04B 15/00 , F04B 19/04 , F04B 53/00

FI (7件)：

B81B 3/00 , F04B 15/00 , F04B 19/04 , B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 G , B41J 3/04 103 H , F04B 21/00 N

Fターム (43件)：

2C057AF70 , 2C057AF72 , 2C057AG29 , 2C057AG44 , 2C057AG46 , 2C057AG54 , 2C057AP13 , 2C057AP14 , 2C057AP25 , 2C057AP34 , 2C057AQ02 , 3H069AA04 , 3H069BB01 , 3H069CC00 , 3H069DD21 , 3H069DD27 , 3H069DD44 , 3H069EE06 , 3H069EE09 , 3H069EE14 , 3H071AA05 , 3H071BB01 , 3H071CC26 , 3H071CC28 , 3H071CC31 , 3H071CC44 , 3H071DD04 , 3H071DD06 , 3H071DD31 , 3H071DD42 , 3H071DD51 , 3H071EE07 , 3H071EE08 , 3H071EE09 , 3H075AA07 , 3H075BB04 , 3H075BB21 , 3H075CC18 , 3H075CC20 , 3H075DA03 , 3H075DA05 , 3H075DA11 , 3H075DB02

引用特許：

審査官引用 (1件)

インクジェット式記録ヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-301150 出願人：セイコーエプソン株式会社

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