特許
J-GLOBAL ID：200903068316107477
蒸着材料および透明バリヤーフィルムの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-117717
公開番号（公開出願番号）：特開平5-311412
出願日： 1992年05月11日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：
【要約】【目的】本発明はマグネシュウム酸化物薄膜を真空蒸着法で形成する際に用いられる蒸着材料およびこれを用いた透明バリアーフィルムの製造方法を提供することを目的とする。【構成】本発明に係わる蒸着材料はかさ比重が2.5g/ml以上のマグネシュウム酸化物である。このようなマグネシュウム酸化物は、マグネシュウム酸化物原料を例えば焼結あるいは溶融することにより得ることができる。ガスバリアー性の透明バリアーフィルムを製造する場合は、このマグネシュウム酸化物を真空蒸着法により透明プラスチックフィルム上に蒸着する。【効果】蒸着材料の体積収縮・亀裂の発生がなく、蒸着の安定化が図られ、かつ長時間の蒸着が可能となる。さらに電子ビームの高出力化が可能となる。蒸着材料内部の気孔が少ないため排気時間の短縮化が図られ、かつ真空度も安定する。さらに、蒸発時におけるスプラッシュ、飛び散りがなく、均一でピンホールのない透明バリアーフィルムを製造することができる。
請求項（抜粋）：
真空蒸着法によって、マグネシウム酸化物薄膜を形成する際に用いられる蒸着材料であって、該蒸着材料がかさ比重2.5g/ml以上のマグネシウム酸化物であることを特徴とする蒸着材料。
IPC (4件)：
C23C 14/32
, C08J 7/04
, C23C 14/08
, C23C 14/56
