インサイチュミラー特徴付け

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本秀策 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-586412
公開番号（公開出願番号）：特表2003-534541
出願日： 2001年05月09日
公開日（公表日）： 2003年11月18日
要約：

【要約】フォトリソグラフィミラー(260、270)等の局所的な表面の特徴をインサイチュで干渉によって測定され、距離測定の精度および角測定の精度を高める補正信号を提供する干渉計装置および方法が提供される。1つ以上の方向の1つまたは複数の基準線に沿った表面特徴は、局所的な傾きを決定するために動作時に表面で反射したビームの角変化を測定し、その後、最終的に表面トポロジーを得るためにその傾きを積分することによって得られ得る。ミラー(260、270)は、フォトリソグラフィステージ(16)上、またはフォトリソグラフィステージ外の基準フレーム上のいずれかに取り付けられ得る。

請求項（抜粋）：

基準フレームを規定する手段と、平行移動ステージと、該平行移動ステージを該基準フレームに対して少なくとも2つの直交方向のうち少なくとも1つの方向に選択的に平行移動する電気機械的構成と、該基準フレームに対して所定の様態で取り付けられた少なくとも1つの薄く細長いミラーであって、反射面と、該少なくとも1つの薄く細長いミラーの長手方向の寸法に沿って延びる公称基準線とを有する、少なくとも1つの薄く細長いミラーと、該少なくとも1つの薄く細長いミラーに対して所定の様態で取り付けられた少なくとも1つの干渉計サブシステムであって、該少なくとも1つの薄く細長いミラーと協働して、少なくとも1つの方位における該平行移動ステージの変位を測定するように適応されており、該基準線に沿って、かつ、該基準線に直交する該少なくとも1つの薄く細長いミラーの局所的な傾き、および、該反射面に垂直な方向の局所的な変位を測定するように適応されている、少なくとも1つの干渉計サブシステムと、動作モード時に互いに相対移動する該平行移動ステージと、該少なくとも1つの薄く細長いミラーと、該少なくとも1つの干渉計サブシステムとを選択的に平行移動する該動作モードを有する制御手段であって、該少なくとも1つの干渉計サブシステムは、対応する基準線に沿って該少なくとも1つの薄く細長いミラーを走査し、該電気機械的構成自身から現れる変化に起因する何らかの寄与成分とともに、該反射面の角変化および表面距離を示す情報を含む信号を生成する、制御手段と、該信号に含まれる該情報を抽出し、該制御手段が該動作モード中に、該少なくとも1つの薄く細長いミラーの局所的な形状を決定する信号解析手段とを備える、干渉計装置。

IPC (5件)：

G01B 9/02 , G01B 11/00 , G01B 11/26 , G03F 9/00 , H01L 21/027

FI (6件)：

G01B 9/02 , G01B 11/00 G , G01B 11/26 G , G03F 9/00 H , H01L 21/30 503 A , H01L 21/30 516 B

Fターム (52件)：

2F064AA01 , 2F064AA06 , 2F064AA09 , 2F064AA15 , 2F064BB01 , 2F064BB05 , 2F064CC04 , 2F064DD01 , 2F064DD07 , 2F064DD08 , 2F064EE01 , 2F064FF02 , 2F064FF06 , 2F064GG12 , 2F064GG13 , 2F064GG23 , 2F064GG38 , 2F064GG70 , 2F064JJ06 , 2F064JJ15 , 2F065AA06 , 2F065AA35 , 2F065AA39 , 2F065AA51 , 2F065BB11 , 2F065BB25 , 2F065CC00 , 2F065CC21 , 2F065EE00 , 2F065EE05 , 2F065FF51 , 2F065GG05 , 2F065GG13 , 2F065GG23 , 2F065HH04 , 2F065HH13 , 2F065JJ05 , 2F065JJ09 , 2F065LL36 , 2F065LL37 , 2F065LL57 , 2F065MM03 , 2F065NN08 , 2F065QQ13 , 2F065QQ14 , 2F065QQ16 , 2F065QQ17 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 5F046CC03 , 5F046CC13 , 5F046CC16

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平3-010105
特開平3-010105
微小変位量の測定方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-008473 出願人：株式会社リコー

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