特許

J-GLOBAL ID：200903068341770113

走査光学系におけるビーム形状の測定方法及び装置

発明者： 小熊 信夫
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-109597
公開番号（公開出願番号）：特開2000-304607
出願日： 1999年04月16日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】 精度の良い走査ビームの曲がり、多面鏡の面倒れ量を求めることのできるビーム形状の測定方法および装置を提供する。【解決手段】 本発明の走査光学系におけるビーム形状の測定方法は、多面鏡の回転によりビームが走査されるその像面上の主走査方向Xの任意の測定点で、その画素列X′,Z′を斜めに位置させた光センサ6上に、上記ビームがスポット状に結像するように上記多面鏡を駆動、停止制御し、上記光センサ6によりビームの光量を計測してビーム形状を算出し、走査ビームの曲がり、多面鏡の面倒れ量等を求める。

請求項（抜粋）：

多面鏡の回転により像面上をビーム走査する走査光学系におけるビーム形状を光センサにより測定する方法において、上記像面上の主走査方向の任意の測定点に配置した光センサ上に、上記ビームがスポット状に結像するように上記多面鏡を駆動、停止制御し、上記光センサによりビームの光量を計測し、そのビーム形状を算出することを特徴とする走査光学系におけるビーム形状の測定方法。

IPC (3件)：

G01J 1/42 ,  G01M 11/00 ,  G02B 26/10

FI (3件)：

G01J 1/42 E ,  G01M 11/00 M ,  G02B 26/10 E

Fターム (12件)：

2G065AA04 ,  2G065AB09 ,  2G065AB18 ,  2G065BA05 ,  2G065BC40 ,  2G065DA05 ,  2G086FF04 ,  2G086GG03 ,  2H045AA01 ,  2H045AA53 ,  2H045AA56 ,  2H045CA82