特許
J-GLOBAL ID：200903068345715478
スピンバルブ膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤田 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-242586
公開番号（公開出願番号）：特開2000-058941
出願日： 1998年08月12日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：
【要約】【課題】 スピンバルブ膜に存在する微小な凹凸に起因する自由側磁性層と固定側磁性層との静磁気的結合を弱め、応答特性を向上する。【解決手段】 磁化方向が固定された固定側磁性層と、非磁性層によって固定側磁性層と分離される自由側磁性層とを少なくとも含むスピンバルブ膜の製造方法であって、固定側磁性層、非磁性層及び自由側磁性層を成膜した後に、自由側磁性層を所望の方向に磁化させる磁場を印加しつつ、スピンバルブ膜に存在する微少な凹凸に起因する固定側磁性層と自由側磁性層の静磁気的結合を弱めるための熱処理を施す。
請求項（抜粋）：
磁化方向が固定された固定側磁性層と、非磁性層によって固定側磁性層と分離される自由側磁性層とを少なくとも含むスピンバルブ膜の製造方法であって、前記固定側磁性層、非磁性層及び自由側磁性層を成膜した後に、自由側磁性層を所望の方向に磁化させる磁場を印加しつつ熱処理を施すことを特徴とするスピンバルブ膜の製造方法。
IPC (3件)：
H01L 43/12
, G11B 5/39
, H01F 41/18
H01L 43/12
, G11B 5/39
, H01F 41/18
5D034BA04
, 5D034DA07
, 5E049AA01
, 5E049AA09
, 5E049AC05
, 5E049BA12
, 5E049GC01
