特許
J-GLOBAL ID：200903068350777260
湿式洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-280564
公開番号（公開出願番号）：特開平6-112180
出願日： 1992年09月25日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】【目的】 ウエハの品質低下を防止することが可能な湿式洗浄装置を提供する。【構成】 圧送用ポンプ7と薬液噴射用ノズル4との間に分岐ライン12を設け、この分岐ライン12の途中にエアバルブ10を設けてある。そしてこの分岐ライン12の他端側は排水トラップ9に接続してある。薬液洗浄中はこのエアバルブ10を閉状態にし、排水トラップ9内を排気して負圧にしておく。そして薬液洗浄が終了すると、圧送用ポンプ7を OFFすると同時的にエアバルブ10を開ける。そうすると圧送用ポンプ7と薬液噴射用ノズル4との間に溜まった薬液は排水トラップ9へ排出される。
請求項（抜粋）：
洗浄槽内のウエハへ液体を噴射するノズルと、該ノズルへ前記液体を圧送するためのポンプとを備える湿式洗浄装置において、前記ポンプと前記ノズルとの間に接続された分岐ラインと、該分岐ラインの途中に設けられた圧抜きバルブとを備えることを特徴とする湿式洗浄装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, B08B 3/02
