特許
J-GLOBAL ID：200903068353159673
グロー放電発光分光分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
白木 大太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-126949
公開番号（公開出願番号）：特開2003-315270
出願日： 2002年04月26日
公開日（公表日）： 2003年11月06日
要約：
【要約】【課題】 多数の試料を連続的に測定するのに便利なグロー放電発光分光分析装置を提案する。【解決手段】 グロー放電発光分光分析装置を、陽極と試料の間に高周波電圧を印加してグロー放電を発生させ、試料をスパッタリングする給電手段を有する複数のグロー放電手段、スパッタリングされた試料から発生する光の強度を測定する検出手段、及び前記複数のグロー放電手段のうちの一から発する光を前記検知手段に達せしめるように、その反射面の方向を調節可能に取り付けられている反射鏡と、を備えてなるものとする。
請求項（抜粋）：
陽極と試料の間に高周波電圧を印加してグロー放電を発生させ、試料をスパッタリングする給電手段を有する複数のグロー放電手段、スパッタリングされた試料から発生する光の強度を測定する検出手段、及び前記複数のグロー放電手段のうちの一から発する光を前記検知手段に達せしめるように、その反射面の方向を調節可能に取り付けられている反射鏡と、を備えてなることを特徴とするグロー放電発光分光分析装置。
Fターム (9件)：
2G043AA01
, 2G043CA05
, 2G043EA09
, 2G043GA02
, 2G043GB01
, 2G043GB03
, 2G043GB18
, 2G043HA02
, 2G043HA11
